Le lampade ad arco corto al mercurio (indicate con la loro sigla HBO) con un consumo energetico compreso tra 200 W e 8.000 W sono utilizzate principalmente come sorgente luminosa nella produzione di microchip, display a cristalli liquidi (LCD) e circuiti stampati (PCB) . Grazie all'intensa attività di ricerca e sviluppo svolta in collaborazione con i nostri clienti, le lampade OSRAM HBO offrono affidabilità e durata credibili, consentendo così molte nuove applicazioni per l'industria dei semiconduttori.
Costi effettivi di gestione
Durata
Manutenzione eccellente
IC/Wafer litografia
Lampade HBO per litografia ad esposizione UV di circuiti integrati:
- Utilizza la "i-line" dello spettro di emissione (365 nm) o l'emissione UV profonda (254 nm).
- Lunga durata con il minor degrado.
LCD/OLED litografia
Lampade HBO per litografia ad esposizione UV di display flat panel e circuiti stampati:
- Emissione più luminosa nell'intervallo 350nm-450nm
- Progettato per modalità a potenza e/o intensità costante
Packaging all'avanguardia
Lampade HBO per l'esposizione UV di imballaggi, Mems, litografia LED:
- Utilizzato per allineatori di maschere, imballaggi avanzati, ispezione di wafer.